SensArray推出用于测量生产线温度的晶圆状传感器底板
作者：全球MRO综合服务商 仪器仪表技术文章来源：全球MRO仪器仪表交易网 点击数： 更新时间：2006-2-14
美国SensArray近日展出了用于测量生产线温度的晶圆状传感器底板。可检测晶圆处理工序用制造设备内部的设定值与实际温度的差值及温度波动等情况。据称还可用于液浸曝光设备的温度管理。
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