据科技部网报道：日前，由上海交通大学承担的“准LIGA技术及其应用研究”课题取得突破。该课题组开发出了三种多层复杂三维微结构的准LIGA技术新工艺，获得了含有三层微结构、总厚度大于1.4 mm的异型纺丝喷嘴。通过对该三种工艺的优缺点进行比较，得出了三种工艺的应用范围。应用准LIGA技术多层复杂三维微结构加工工艺制备出了异型纺丝喷嘴、镍双层微齿轮模具和集成探卡；应用准LIGA技术可动微结构一体化加工工艺制备出了菲涅尔透镜和光衰减器，应用于光学平台中。

  

 

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