这一系列防震平台有着独到的设计,紧凑的外形、很好的扩展性;是理想、大负载隔振的具体体现。
主要特征:
标准高度,185mm; 大负载能力,标准最大负载13 吨; 针对台面上移动的负载特殊设计; 能在洁净空间中使用; 多用途的系统;
主要应用:
半导体、液晶制造或检测领域 例如:半导体传送设备,半导体加工设备,液晶检测仪器等 大型专用设备领域 例如:大型扫描电子显微镜,透射电子显微镜,金属扎机,大型冲压设备等 航空、航天、航海等特殊领域
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AP系列规格(AP Series specificaiton) |
参数 |
AP-80 |
AP-100 |
AP-120 |
AP-140 |
AP-160 |
固有频率 |
2.5-3.0Hz |
隔振方式 |
空气弹簧 |
阻尼方式 |
可调阻尼孔 |
桌面水平方式 |
自动保持桌面水平,重复位置精度±200um |
负载(Kg) |
560 |
880 |
1200 |
1700 |
2200 |
尺寸(mm) |
170*170*185 |
180*180*185 |
200*200*185 |
210*210*185 |
240*240*185 |
螺孔间距(mm) |
150*150 |
160*160 |
176*176 |
186*186 |
210*210 |
螺孔直径(mm) |
10 |
10 |
10 |
10 |
13 |
重量(Kg) |
18 |
20 |
25 |
29 |
30 |
供给气压 |
0.35-0.70MPa | |
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参数 |
AP-180 |
AP-200 |
AP-230 |
AP-270 |
AP-330 |
AP-380 |
固有频率 |
2.5-3.0Hz |
隔振方式 |
空气弹簧 |
阻尼方式 |
可调阻尼孔 |
桌面水平方式 |
自动保持桌面水平,重复位置精度±200um |
负载(Kg) |
2800 |
3600 |
4600 |
6400 |
9600 |
13000 |
尺寸(mm) |
250*250*185 |
260*260*185 |
300*300*185 |
380*380*185 |
410*410*185 |
430*430*185 |
螺孔间距(mm) |
230*230 |
230*230 |
270*270 |
290*290 |
340*340 |
400*400 |
螺孔直径(mm) |
13 |
13 |
13 |
13 |
13 |
13 |
重量(Kg) |
32.5 |
35 |
45 |
55 |
70 |
90 |
供给气压
| 0.35-0.70MPa | |