近日，Brooks Automation公司对外宣布，设立在韩国Kyungkido的设备生产商Jusung Engineering公司最近向其发出了一个意义重大、价值数百万美元的订单，用于购买Brooks公司认证的Gemini Express 6000(GX6000)真空系统。GX6000系统具有一个利用Brooks获专利的直接推动真空遥控装置的作业标准配置，借助这一个临界的真空环境，可以进行高度可靠和大量的晶圆运输。GX6000将被当作半导体晶体运输的核心力量安装在Jusung前沿的300mm沉积及其它重要的流程中。

　　Jusung Engineering公司销售与市场执行副总裁Young-Gon Lee表示：“我们一直在自我挑战，并力求要做得最好。我们最近从半导体客户手中赢得了针对我们公司流程设备的新的业务，这些客户有来自韩国，也有来自美国、中国台湾地区、日本、法国和德国。我们新的在原子层沉积(ALD)、电解质和金属膜的独特的半间歇加料设计受到了极大的关注。这种设计使吞吐量最大化的同时膜层的均匀性也异常优异。该GX6000系统是个理想的平台。我们把Brooks公司当作宝贵的合作伙伴，它为我们提供了业务最佳处理技术。这些将有助于我们为全球客户创造更大的价值。”