随着技术的进步,半导体制造检查工程越来越微细化和高速化。消除振动直接关系到改善产品的质量问题。明立精机开发并提供了大量的能使半导体及液晶制造检查装置性能得到最大发挥的组合型除振系统,本公司在此领域有极高的信赖性和大量的成功实例。 请在縮小投影型露光装置,液晶激光退火装置,各種検査装置等的设计阶段与我们联系。我们会为你提供最合适的除振解决方案。
另外,在近几年用于数字器械的非球面透镜等精密加工机的除振领域,本公司的装置也得到了极大的好评。
AP 组合型空气弹簧式除振系统。小型而且很容易与搭载装置组配。对于移动工作也有极高的适应性,可以适用于数百公斤至十几吨的承载重量。
MAPS 组合型能动除振系统。以气压启动器控制实现水平及垂直全方向的优化除振性能,在装载台振动时也可发挥出很高的控制性能。
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