说到振动,大家可能会联想起地震以及列车的晃动等。在我们日常生活的每一个场所,都有人体所感觉不到的振动发生。这种微弱的振动对于人来说平时是不会注意到的,但对于使用的器械来说越是精密就越会导致更严重的障碍。
例如,在用电子显微镜看1μm物体时,若显微镜有1μm以上位移的振动的话,是无法进行观察的。几乎所有这些有害的振动都是来自放置显微镜的台面,也就是说来自地面的振动。测量器械越是精密就越有必要除去这样的振动。『VISOLATOR』正是具体实现这种除振方式的除振装置。(﹡『VISOLATOR』是本公司的注册商标)
 《与使用了该装置VISOLATOR【左】未使用除振装置【右】时显微镜图像的差异》
作为保护精密器械免受有害振动的除振装置(VISOLATOR)专业开发厂商, 明立精机株式会社是日本第一家最先开发研制正规除振装置的。除了具有首次研发以来长年经验中所积累的技术和专业知识,本公司还对多种多样的光学实验状况进行涉及细部的研究分析,并把从中得来的解决方案一个一个地反馈到我们的装置研发过程中,从而研发制造出多种(从台上式到用于光学实验等大型台基)除振装置。
近来,除振装置已成为以半导体及液晶为首的精密器械制造及使用过程中不可缺少的组成部分。本公司还开发研制出了可以与各种器械组合起来使用的组合式除振装置,以及通过对传感器检测解析出的振动施加逆位相实现除振目的的适应纳米尺度需求的能动除振装置MAPS系列等产品。
凭借本公司长年累积的除振专业知识和技术能力,我们坚信可以为客户的逐年提高的高精度及、高性能精密器械提供非常满意的产品。
《主要用途》
- 光学方面
- 激光干涉仪,激光加工机,半导体激光器,Femto秒激光器,激光多普勒位移仪,分光器,光纤调芯装置,透镜评价装置
- 半导体方面
- 半导体・液晶检查装置,縮小投影型露光装置,DVD制造・检查装置,电子束描图装置,掩膜分析仪,晶圆线幅测定仪,电试验装置、 LB薄膜制作装置,薄膜测定装置,真空装置,真空蒸镀装置,硅单晶提拉装置
- 显微镜等
- 扫描式显微镜,激光显微镜,光学显微镜,生物用显微镜,工业用显微镜,IC检查显微镜,表面形状测定显微镜,液晶制造检查用显微镜,电生理实验,显微镜受精实验,机械手,超薄切片机
- 测量器械等
- 3维坐标测量仪,坐标测定装置,尺寸测定仪,圆度测定仪,精密自动长度测定仪,表面粗糙度测定仪,秤量器械,Vickers硬度仪,Rockwell硬度仪,直读天平秤,差(示)热天平秤,电子天平秤,金属模型加工机,模具加工机,其它多种器械
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