明立精机MATIS系列是将垂直用和水平用启动器组装成既薄而又小型台上型/台桌型能动除振系统。像使用办公桌一样的方便，只要简单地将其放在需要除振的装置下面，就可以实现在全部自由度上的除振及制振的功能。它能提供支持尖端技术的下一代优良测量及操作环境。


可以除去被动除振所难以除去的频带域上的振动
被动除振经常会遇到由系统固有频率而产生的共振现象，这种共振现象可以通过能动除振来消除。另外，对此频带域，能动除振还可以实现相当好的除振效果。例如，对于被动除振所不在行的2Hz附近低频振动，能动除振可以使振动减小到被动除振的1/30～1/100。


空气弹簧支撑可以发挥高频领域的安定除振性能
当乘载物以线圈弹簧支撑时，由于在高频领域出现电冲击现象，除振性能上会出现问题。MATIS系列虽然体积小，但采用了与大型高性能除振装置同样类型的空气弹簧支撑。从低频到高频都可以发挥安定的除振性能。另外，通过将空气弹簧与线性电动机的组合，也大幅地削减空气消费量这一空气压控制除振装置所具有的疑难问题。


容易组装到器械装置里的小型超薄单元体/抑制共振的高刚度框架
MATIS台上型ATT系列的小型超薄单元体可以简单地组装到需要除振的器械装置里。只要接上空气源和电源，就可以简单地得到不受振动影响的环境。台桌型 ADT系列采用高刚度的溶接构造框架，可以抑制框架自身的共振，从而发挥安定的除振性能。MATIS系列的控制系统非常安定，不但可以用于公司内部的设备，也可以安心地用于销售给客户的产品之中。


重量轻刚度高的铝质台基及钢质蜂窝台基
1974年，明立精机是在日本国内第一次成功地研发生产出铝蜂窝台基的。台桌型ADT系列采用了经过更多次的研究而研制出的钢质蜂窝台基。刚性提高了 30～40%，与铸铁台基相比拥有同样的刚性，但重量只是铸铁的1/5～1/7左右。另外，蜂窝核心与钢板以很小的间隔黏贴在一起，以确保了优良的减振效果。由此，台基上的振动可以瞬时间衰减，从而发挥安定的除振性能。
台上型ATT系列采用重量轻刚度高的铝质台基。轻量超薄可以解决安装场所及安装移动时的疑难问题。


MATIS是发挥精密器械性能的不可缺少的组成部分之一
至今，大多客户是由于担心振动而使用除振装置。可是随着精密器械的高精度化，高功能化和大型化的进展，若不使用除振装置来消除振动的影响，精密器械就不能按照产品说明书上写的那样正常地发挥性能。在纳米可视化的电子显微镜（STM，AFM）领域，能动除振装置已经成为不可缺少组成部分。与乘载装置结合起来调试可以实现最佳的除振性能。

SPECIFICATIONS

	MATIS (台上型)			MATIS (台桌型)			控制器
型号	ATT-0605	ATT-0806	ATT-1007	ADT-0605	ADT-0806	ADT-1007	MCA-2B
外形尺寸 [mm]	623x543x103	804x604x166	1004x704x166	702x602x750	902x702x750	1102x802x750	177x280x260
本体重量 [kg]	40	80	125	100	125	150	5.5
乘载台尺寸 [mm]	590x510	800x600	1000x700	590x510	800x600	1000x700	-
可乘载重量 [kg]	150						-
供给空气压力 [Mpa]	0.35 - 0.8						-
供给电源 消费电力	-						AC100V 210W
乘载物固有频率 [Hz]	200以上 (推荐值)						-
除振/制振方式	由线性电动机进行振动控制						-
水平维持方式	由机械阀进行位置控制						-
除振性能	参照振动传递率图						-
控制轴数量	6						-